軟離子束拋光儀
產(chǎn)品參數(shù):① 離子槍數(shù)量:2把② 離子槍類型:空心陰極場槍(平行寬離子束)可調(diào)節(jié)角度:90-180度。③ 離子槍電壓調(diào)節(jié):大于等于0-10kV④ 離子束加工區(qū)域:切割模式:Nlmm (深)X8mm (寬);平面拋光模式:有效加工面積直徑大于25mm,⑤ 冷凍樣品臺:溫度設(shè)定范圍:(半導(dǎo)體)-40 °C?室溫回溫溫度范圍:+10°C~+30°C樣品尺寸:OOmmx 25mm x 20mm (厚度)⑥