EMS150TES為緊湊的分子渦輪泵鍍膜系統(tǒng)，適合SEM、TEM及許多鍍膜應(yīng)用

主要特點(diǎn): 

● 金屬濺射或碳蒸發(fā)一體化設(shè)計(jì)，節(jié)省空間

● 適合FE-SEM制樣的精細(xì)鍍膜和薄膜應(yīng)用

● 渦輪分子泵高真空系統(tǒng)，適合不氧化貴金屬和易氧化其它金屬靶材

● 全自動觸摸屏控制，快速數(shù)據(jù)輸入，操作簡單

● 可儲存多個(gè)客戶自定義鍍膜方案：對多用戶實(shí)驗(yàn)室十分理想

● 預(yù)編程自動真空控制

● 使用膜厚監(jiān)控選件精確控制膜厚

● 智能系統(tǒng)識別，自動感知用戶所插入鍍膜頭的類型

● Drop-in式快速換樣品臺（標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺）

● 真空閉鎖功能，讓工作腔室在待機(jī)使用時(shí)亦處于真空狀態(tài)

● 不破壞真空條件下的濺射時(shí)間可長達(dá)60分鐘，適合材料科研應(yīng)用

● 人體工程學(xué)設(shè)計(jì)，整體成型機(jī)殼，維護(hù)、拆裝容易

● 帶有本地FTP服務(wù)器連接的以太網(wǎng)端口，程序更新簡單

● 設(shè)有功率因素補(bǔ)償，有效利用電能，降低運(yùn)行成本

● CE認(rèn)證

技術(shù)參數(shù): 

● 工作腔室：150mm內(nèi)徑 x 127mm高

● 觸摸屏全圖像用戶界面

● 樣品臺：標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺

● 真空系統(tǒng)：

渦輪分子泵：帶有空氣冷卻的渦輪分子泵

旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵：雙程旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵

● 濺射電流：0-150mA；可預(yù)設(shè)膜厚或使用內(nèi)置定時(shí)器

● 濺射時(shí)間：最長60分鐘

● 金屬蒸發(fā)/光闌清潔頭：用于鎢絲籃或金屬熱蒸發(fā)。

● 尺寸和重量：儀器機(jī)箱585mm寬x 470mm長 x 410mm高 (總高: 650mm)

● 儀器總重量：33.4Kg