EMS150TES為緊湊的分子渦輪泵鍍膜系統(tǒng),適合SEM、TEM及許多鍍膜應(yīng)用
主要特點(diǎn):
● 金屬濺射或碳蒸發(fā)一體化設(shè)計(jì),節(jié)省空間
● 適合FE-SEM制樣的精細(xì)鍍膜和薄膜應(yīng)用
● 渦輪分子泵高真空系統(tǒng),適合不氧化貴金屬和易氧化其它金屬靶材
● 全自動觸摸屏控制,快速數(shù)據(jù)輸入,操作簡單
● 可儲存多個(gè)客戶自定義鍍膜方案:對多用戶實(shí)驗(yàn)室十分理想
● 預(yù)編程自動真空控制
● 使用膜厚監(jiān)控選件精確控制膜厚
● 智能系統(tǒng)識別,自動感知用戶所插入鍍膜頭的類型
● Drop-in式快速換樣品臺(標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺)
● 真空閉鎖功能,讓工作腔室在待機(jī)使用時(shí)亦處于真空狀態(tài)
● 不破壞真空條件下的濺射時(shí)間可長達(dá)60分鐘,適合材料科研應(yīng)用
● 人體工程學(xué)設(shè)計(jì),整體成型機(jī)殼,維護(hù)、拆裝容易
● 帶有本地FTP服務(wù)器連接的以太網(wǎng)端口,程序更新簡單
● 設(shè)有功率因素補(bǔ)償,有效利用電能,降低運(yùn)行成本
● CE認(rèn)證
技術(shù)參數(shù):
● 工作腔室:150mm內(nèi)徑 x 127mm高
● 觸摸屏全圖像用戶界面
● 樣品臺:標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺
● 真空系統(tǒng):
渦輪分子泵:帶有空氣冷卻的渦輪分子泵
旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵:雙程旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵
● 濺射電流:0-150mA;可預(yù)設(shè)膜厚或使用內(nèi)置定時(shí)器
● 濺射時(shí)間:最長60分鐘
● 金屬蒸發(fā)/光闌清潔頭:用于鎢絲籃或金屬熱蒸發(fā)。
● 尺寸和重量:儀器機(jī)箱585mm寬x 470mm長 x 410mm高 (總高: 650mm)
● 儀器總重量:33.4Kg