濺射系統(tǒng) |
樣品室大小 | 直徑120mm x 120mm 高 |
靶材 | Au 靶為標(biāo)配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (選件);大?。褐睆?/span>57mm x 0.1mm厚 |
樣品臺(tái) | 可以裝載12個(gè)SEM樣品座,高度可調(diào)范圍為50mm |
濺射控制 | 微處理器控制,安全互鎖,可調(diào),電流10、20、30、40mA,程序化數(shù)字控制 |
濺射頭 | 低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩 |
計(jì)量表 | atm~1*10-3mba / 0~50mA |
厚度監(jiān)控 (選件) | 使用MTM-20高分辨厚度控制儀(選件)自動(dòng)終止濺射過程,或使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀(選件)手動(dòng)終止濺射過程 |
控制方法 | 自動(dòng)氣體換氣和泄氣功能,自動(dòng)處理排序,帶有“暫?!笨刂频臄?shù)字定時(shí)器(5-300s),自動(dòng)放氣.整個(gè)操作亦可全手動(dòng)控制。 |
真空系統(tǒng) |
真空泵 | 2級(jí)直連式高速真空泵 |
極限真空 | 5*10-3mba |
桌上系統(tǒng) | 真空泵可置于抗震臺(tái)上,全金屬集成耦合系統(tǒng) |
主要特性
一、自動(dòng)的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚,和最佳的導(dǎo)電噴鍍效果。
二、通過高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程,避免樣品表面受損。
三、操作容易快捷,可全自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行噴鍍操作,控制的參數(shù)包括自動(dòng)放氣以及氬氣換氣控制。
四、在自動(dòng)模式下,可通過兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過程。可通過數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果,
五、通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)在達(dá)到設(shè)定膜厚時(shí)停止噴鍍過程。
六、可用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)手動(dòng)停止噴鍍過程。
七、數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和最佳的鍍膜效果。
八、可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶為標(biāo)配),靶材更換快速方便。